系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測(cè)量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測(cè)量技術(shù)，是國(guó)內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測(cè)的系統(tǒng)。

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*1：靜態(tài)精度或可稱為同點(diǎn)位多次連續(xù)測(cè)量的最大偏差值，數(shù)據(jù)為針對(duì)50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果

*2：多次取放測(cè)量同點(diǎn)位數(shù)據(jù)的最大三倍標(biāo)準(zhǔn)差值，數(shù)據(jù)為針對(duì)50um厚度雙拋玻璃片進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的結(jié)果